国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“金属互连方法及半导体器件”的专利,公开号CN120565498A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本发明公开一种金属互连方法及半导体器件,所公开的金属互连方法包括:提供半导体基底,所述半导体基底包括第一金属部和位于所述第一金属部上的介质层,且所述介质层设有通孔,所述第一金属部显露于所述通孔的底部;在所述通孔中沉积覆盖所述第一金属部的自集成单层;在所述通孔的孔壁沉积阻挡层,所述自集成单层用于抑制所述阻挡层在所述自集成单层上沉积;去除所述自集成单层;在所述通孔中沉积浸润层;在所述浸润层上形成铜锰层;在所述通孔中填充第二金属部。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1119次,财产线索方面有商标信息67条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可340个。
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